質量流量控制器

什么是質量流量計？什么質量控制器？

       質量流量計（Mass Flow  Meter） MFM,是一種測量氣體流量的儀表，測量值是不因為環境壓力和溫度的變化而改變，不需要溫度壓力的補償。質量流量計只是測量不控制。

       質量流量控制器（Mass Flow controller） MFC,是一種直接測量氣體的質量流量并且進行流量控制的儀表設備，不因為環境溫度和使用壓力的變化而改變，不但具有測量質量的功能，更重要的它可以自動控制氣體流量，用戶可以根據需要進行流量設定，帶控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量的大小。